冥王星Pluto系列是次世代一体化可靠性测试系统,功能涵盖所有晶圆和封装级的可靠性要求,包括HCI、BTI、OTF、TDDB、EM等等,关键的测试能力超越了市场其他竞争厂商的可靠性测试系统。它具备1微秒量测时间的SMU-per-pin架构,以及完整的HCI、GOI和EM一体化可靠性测试验证能力。这些功能使Pluto系列的测试系统可以通过多达960个SMU通道,并行测试480个被测器件,实现更高的测试性能和生产量。不仅降低测试成本,也显著提高了行业客户的吞吐量灵活度,特别是下一代纳米节点的技术。
除了支持所有纳米制程和器件可靠性验证,冥王星Pluto系列也为客户提供了弹性功能,用戶可以依据自己的独特需求,开发订制的测试编程和方法。能够在封装级或模组级,连结到用在被测器件DUT的独立控制微烤箱模组,也可以和思达多站点的晶圆级探针台无熢集成,从而为3纳米以下的技术,提供per-pin晶圆级验证。
思达科技执行长刘俊良博士表示,“Pluto系列测试系统在2020年第四季度推出后,开始接单并完成交货。它是次世代的SMU per-pin测试系统,彻底改变了以往行业可靠性解决方案。在未来,思达将持续努力地优化测试经验,为客户提供高精度的量测结果,和高性能的最佳测试方案。”
思达冥王星Pluto测试机支持晶圆级和封装级可靠性验证测试
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